Laserpolieren im geschlossenen Regelkreis mittels prozessbegleitender Oberflächenqualitätsmesstechnik

Oliver Fähnle¹, Rolf Rascher², Christian Vogt², Jens Bliedtner³, Daewook Kim⁴

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Zusammenfassung

Dieses Paper beschreibt einen Weg zu einem geschlossenen Polierprozess optischer Elemente, mit dem Ziel optimaler Polierzeiten. Zu diesem Zweck wird ein prozessinternes Testverfahren zur Überwachung der Mikro-Oberflächenqualität bestehend aus Oberflächenrauheit und Scratch-and-Dig innerhalb des Polierkontakts vorgestellt.
Seine Anwendbarkeit auf das Closed-Loop-Polieren sowohl für das klassische kraftgesteuerte Polieren als auch für das computergesteuerte Laserpolieren wird experimentell getestet und verifiziert.
Die beschriebene Closed Loop Oberflächenmesstechnik ermöglicht die Bestimmung der optimalen lokalen Verweilzeit und trägt damit zu einer stabilen und kostenoptimierten Politur bei.

Optische Linsen werden seit mehr als 3400 Jahren hergestellt, wie z.B. die minoischen Linsen, die 1400 v.Chr. auf der griechischen Insel Kreta ausgegraben wurden [1], zeigen. Analysiert man die Entwicklung der optischen Fertigungstechnologien seit dieser Zeit und betrachtet man dies aus evolutionärer Sicht, so erkennt man, dass dieser Prozess durch das Ziel „minimaler Aufwand“ bestimmt wurde, um eine „gerade genügend gute “ Linsenqualität zu erzeugen; wobei unter Linsenqualität im Wesentlichen Formgenauigkeit und Oberflächengüte (bestehend aus Oberflächenrauheit (Sq), Tiefenbeschädigungen (SSD) und Scratch-and-Dig (S&D)) verstanden wird.

Informationen über die Autoren

1 FISBA AG, 2 Technische Hochschule Deggendorf, 3 Ernst Abbé
Hochschule Jena, 4 University of Arizona

Diesen Artikel zitieren

Fähnle, Oliver, Rascher, Rolf, Vogt, Christian et al. (2020): Laserpolieren im geschlossenen Regelkreis mittels prozessbegleitender Oberflächenqualitätsmesstechnik, in: Wolf-Dieter Prenzel (Hrsg.), Jahrbuch Optik und Feinmechanik 2020, Görlitz: Optik-Verlag

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